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產(chǎn)品展示

三豐Mitutoyo激光全息測微計O542 926外觀迷你操作簡便重慶成都西安武漢廣州上海北京蘇州

Laser Hologage(激光全息測微計) 542系列- 0.00001mm分辨率型 日本三豐品牌 MITUTOYO 542-926 線性測微計 三豐的Laser Hologage 是一種高端數(shù)顯測量系統(tǒng),采用衍射光束干涉,進(jìn)行高精度和高重復(fù)精度測量。它具有超細(xì)衍射光柵,將全息影像記錄在刻度上。Laser Hologage 適于測量精度極高的工件,特別適于半導(dǎo)體等行業(yè)使用。 特點(diǎn):

  • 用戶界面:
  • 操作系統(tǒng):
  • 鍵盤類型:
  • 型號: 三豐Mitutoyo激光全息測微計O542 926外觀迷你操作簡便重慶成都西安武漢廣州上海北京蘇州
Laser Hologage(激光全息測微計)

542系列- 0.00001mm分辨率型

日本三豐品牌 MITUTOYO 542-926 線性測微計

三豐的Laser Hologage 是一種高端數(shù)顯測量系統(tǒng),采用衍射光束干涉,進(jìn)行高精度和高重復(fù)精度測量。它具有超細(xì)衍射光柵,將全息影像記錄在刻度上。Laser Hologage 適于測量精度極高的工件,特別適于半導(dǎo)體等行業(yè)使用。

特點(diǎn):

1、由于具有0.00001mm(0.01µm)的極高分辨率適于進(jìn)行高精度測量,其性能接近激光干涉儀。

2、具有極高的測量穩(wěn)定性—高防護(hù)性設(shè)計,適于在惡劣的環(huán)境下工作,如溫度和氣壓變化的環(huán)境。

3、心軸導(dǎo)軌使用高精度線性滾珠軸承,移動非常濾波且延長了使用壽命。

4、帶有顯示裝置。

技術(shù)參數(shù):

精度:參見性能參數(shù)(不包括量化偏差)

分辨率:0.01µm

長度基準(zhǔn):Laser-hologram 測量傳感器

最大反應(yīng)速度:250mm/s

測針:R5mm硬質(zhì)合金

軸套:Φ15mm

軸承類型:高精度線性滾珠軸承

測力:參見性能參數(shù)

輸出信號:90度相位差,差動方形波

信號間距:0.25µm

標(biāo)準(zhǔn)附件:

538610:帶扳手的測頭

選件:

971751:用于在上表面固定的軸套固定裝置

971752:用于在下表面固定的軸套固定裝置

971753:心軸提升電纜

971750:Laser Hologage支架

性能參數(shù):

測量范圍

貨號

分辨率

精度

測力**

軸套直徑

備注

10mm(.4〞)

542-925*

0.01µm/1µinch

0.1µm

0.55N/0.45N/0.35N

15mm

--

10mm(.4〞)

542-926*

0.01µm/1µinch

0.1µm

0.1N/-/-

15mm

低測力

*為區(qū)分交流電源電纜,在貨號后加上以下后綴:A適于UL/CSA,D適于CEE,DC適于CCC,E適于BS,K適于EK,無后綴適于JIS/100V。

**量具的方向:心軸向下/水平/向上

尺寸圖片:單位(mm)
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